主要適用于
●小規嗅生產、實驗、科研及醫學等領域
●特點:本系列成本低、精度高、實用
小型臺式等離子機主要技術數據及規格
技術配置\設備型號 | HJ-PL02L | HJ-PL05L | HJ-PL10L |
外形尺寸W×H×D) | 560x600×420mm | 660×700×560mm | 660×700×560mm |
反應腔尺寸 | ?100×270mm | ?150X280mm | 200X200X270 |
反應腔容量 | 2L | 5L | 10L |
反應腔體材 | 石英/進口不銹鋼 | ||
真空泵 | BOSl4L/S | ||
角閥 | 北儀 超高真空40KF | ||
真空顯示規管 | 松下/SMC ZSE30A | ||
射頻電源 | 德國進口 40KHZ 100KHZ 13.56MHZ 2.45GHZ | ||
PLC系統 | 三菱 FX系列 | ||
電氣系統 | 施耐德 | ||
觸摸屏 | 松下4.3寸 顯控 | ||
陶瓷封裝 | 進口高頻陶瓷 | ||
處理氣體 | O2、Ar2、N2、H2、CF4 | ||
輸出功率 | 0-600W 可調 |